晶圓廠超純水系統再生廢水回收技術研究 - 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌

"葉斯馨、劉金華 / 華邦電子股份有限公司力行廠 在工業製程上「水」一直扮演重要角色，由於台灣水價便宜且取得容易，許多工廠經營者在考慮降低生產成本時通常不會將經濟給水與廢水處理列入主要成本考量。隨著晶圓(Wafe

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